Femto-200工业级光纤飞秒激光器
Femto-200 系列工业级光纤飞秒激光器Femto 200 系列飞秒激光器是由 Huaray 自主研发生产的，稳定、可靠的飞秒光纤激光器产品，也是国家重点研发计划专项的研发成果。激光器采用光、电一体化设计，脉宽小于350 fs，单脉冲能量高达200 μJ。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。
Femto-200 系列工业级光纤飞秒激光器Femto 200 系列飞秒激光器是由 Huaray 自主研发生产的，稳定、可靠的飞秒光纤激光器产品，也是国家重点研发计划专项的研发成果。激光器采用光、电一体化设计，脉宽小于350 fs，单脉冲能量高达200 μJ。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。
Femto-200工业级光纤飞秒激光器
Femto 200工业级飞秒激光器是由 Huaray 自主研发生产的，稳定、可靠的飞秒光纤激光器产品，也是国家重点研发计划专项的研发成果。激光器采用光、电一体化设计，脉宽小于350 fs，单脉冲能量高达200 μJ。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。
产品特点：
脉宽小于 350 fs，支持更多脉宽选择
单脉冲能量高达 200 μJ
支持重复频率调节
坚固耐用的工业一体化设计
应用领域：
半导体晶圆加工
陶瓷与聚合物加工
金刚石加工
新能源材料加工
难加工金属加工
高分子材料加工与处理
| 型号 | Femto 200-1035 | Femto 200-517 | Femto 200-1035 | Femto 200-517 |
| 中心波长 | 1035 nm | 517nm | 1035 nm | 517nm |
| 输出功率 | 40 W | 15 W | 60 W | 20 W |
| 最大单脉冲能量 | 200 μJ | 75 μJ | 80 μJ | 30 μJ |
| 最大脉冲串能量 | ~ | ~ | 320 μJ | ~ |
| 重复频率 | Single-Shot to 200 kHz | Single-Shot to 200 kHz | Single-Shot to 750 kHz | Single-Shot to 750 kHz |
| 脉冲宽度 | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps |
| 光束质量 | M?≤1.3 (Typical <1.2) | M?≤1.3 (Typical <1.2) | M?≤1.3 (Typical <1.2) | M?≤1.3 (Typical <1.2) |
| 光束发散角 | <1 mrad,2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad,2θ | <1 mrad, 2θ |
| 光斑圆度 | ≥85% | ≥85% | ≥85% | ≥85% |
| 光斑直径 | 3±1 mm, 1/e? | 3±1 mm, 1/e? | 3±1 mm, 1/e? | 3±1 mm, 1/e? |
| 偏振态 | Linear | Linear | Linear | Linear |
| 功率稳定性 | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS |
| 工作温度 | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C |
| 电源 | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V |
